第一卷 第283章 首块晶圆的诞生
冷风卷着空气被电离的焦糊味,迅速消失在漆黑的夜色里。
绝密车间厚重的防爆门后,却翻滚着另一股足以熔穿钢铁的热浪。
轰——嗡嗡嗡!
单晶硅提纯设备在车间正中央发出低沉的运转轰鸣,连带着脚下的水泥地面都在微微发颤。
庞大的机械臂凌空探出,钢铁关节摩擦出刺耳的锐响。
机械爪死死钳住第一批高纯度多晶硅原料,精准地移向提纯炉上方。
哐当!
厚重的炉盖向两侧滑开。
机械臂猛地往下一沉,将整箱原料稳稳送入炽热的炉膛。
刺目的火光瞬间喷涌而出,将整个车间的墙壁映得通红。
程美丽站在三米外的炉温控制面板前,身上披着一件宽松的白大褂。
滚烫的热浪扑面而来。
她嫌弃地皱了皱鼻子,抬手往后拨了一下被汗水沾湿的额发。
陆川站在她右后侧,单手捏着一块用冷水浸过的干净毛巾,直接覆在她的后颈上。
冰凉的触感透过皮肤传开。
程美丽舒服地眯了一下眼睛,左脚往前踏出半步,目光锁死在屏幕上。
黑底绿字的代码瀑布般飞速滚动。
“偏高了。”
她吐出三个字。
没有任何犹豫,程美丽双手按上工业键盘,十指化作残影,重重敲击按键。
哒哒哒!
底层控温代码被她强行覆写。
“咔!”
回车键被一指按下。
提纯炉内部发出“嘶”的一声剧烈泄压声。
狂暴的火光肉眼可见地暗了一个色号。
熔炼的极限温度曲线,被她用一段强行插入的指令,硬生生往下压了十五度。
车间里几名监测数据的技术员呼吸一滞,连大气都不敢喘。
“稳住了!”
有人压低嗓音喊了一声。
程美丽离开控制台,从口袋里摸出一颗薄荷糖剥开,塞进嘴里。
她拉过一把折叠椅坐下,翘起二郎腿,目光盯着提纯炉的方向。
三小时后。
轰鸣声逐渐减弱。
咔哒!
提纯炉底部的出料口在液压杆的推动下,缓缓向两侧滑开。
白色的高温蒸汽贴着地面疯狂溢出。
牵引底座开始向上拉升。
一根通体泛着银灰色冷光的高纯度单晶硅棒,顺着牵引杆被一点点拉制出来。
硅棒表面平滑得不带一丝纹理,在车间顶灯的照射下,折射出冷硬刺骨的金属光泽。
“出炉了!”
技术组长戴着隔热手套,快步冲上前。
他拿起切割电锯,对准硅棒尾端狠狠切下。
火星四溅!
一块银币大小的硅棒切片掉落在托盘里。
技术组长用医用长镊夹起切片,一路小跑冲向操作台,将其送入高精度质谱仪的检测舱。
滴!
扫描红光亮起。
整个车间静得只能听见质谱仪机箱散热风扇的转动声。
所有人的视线死死钉在上方悬挂的电子投屏上。
滴——滴滴!
检测结果瞬间跃上大屏。
99.999999%。
一串刺眼的绿色数字。
八个九。
李副部长站在人群最前面,眼珠子几乎要瞪出眼眶,双手死死攥住前排的栏杆。
“成了!”
他猛地一拍大腿,仰起头放声大笑。
笑声震得头顶的白炽灯都在晃。
车间内的专家与工人们愣了一秒,随即将手里的图纸和手套高高抛向半空,互相死死抱在一起。
震耳欲聋的欢呼声瞬间掀翻了车间的屋顶。
程美丽坐在椅子上,被这冲天的嗓门吵得用手捂住了耳朵。
她嚼碎嘴里的薄荷糖,没好气地白了李副部长一眼。
“嚎什么。”
“提纯只是第一步,切不出来薄片,这硅棒就是根烧火棍。”
欢呼声戛然而止。
李副部长搓了搓通红的脸颊,立刻朝后招手。
“上切割机!快!”
吊车缓缓移动,将那根沉重的单晶硅棒稳稳吊起,推入一旁的金刚石线切割机舱内。
卡扣锁死。
滋——!
高压冷冻液喷涌而出,化作白色的水雾罩住整个切割区。
金刚石线圈开始以肉眼难以捕捉的速度疯狂运转。
极细的切割线狠狠咬进硅棒表面,发出令人牙酸的撕裂声。
金属碎屑混着冷冻液,在防爆玻璃内壁上砸出一片泥泞。
十分钟后。
切割声停歇。
机舱门弹开。
第一批标准八英寸晶圆被机械抓手切下,整整齐齐地码放在无尘操作台的托盘内。
每一片都薄如蝉翼,表面光洁如镜,倒映着车间刺眼的白光。
程美丽站起身,走到无尘操作台前。
她没有戴手套,而是直接用一把定制的防静电竹镊,捏起一片刚切好的晶圆。
薄薄的硅片在她指尖转了半个圈。
她将其平放在高倍电子显微镜的载物台上,低头凑近目镜。
右侧的旋钮被她快速拧动,焦距在一瞬间锁定。
显微镜下的视场里,晶圆表面的微观结构暴露无遗。
程美丽看了一眼,眉头立刻拧成了一个死结。
她直起身,把竹镊往托盘里重重一扔。
啪!
“废品。”
两个字,轻飘飘地砸在操作台上。
周围刚准备鼓掌的技术员们集体僵住,脸上的喜色瞬间凝固。
李副部长急忙凑上来,声音发紧。
“程工,哪里不对?”
“平整度。”
程美丽指着托盘里的那堆晶圆,语气冷得掉冰渣。
“你们现在用的涂层工艺,药液分布存在明显的厚度落差。”
她竖起一根手指。
“0.1微米的平整度误差。”
“这种表面,只要上了光刻机,光线一照就会产生衍射畸变。”
“刻出来的电路不仅会短路,还会直接烧穿底板。”
几个核心工程师脸色煞白,后背冒出一层冷汗。
0.1微米的误差,在他们现有的认知里,已经是极限的极限。
“这……”
一名老工程师咽了一口唾沫。
“程工,咱们现有的光刻胶配方粘稠度太高,旋涂机根本甩不平这0.1微米啊。”
“甩不平就换配方。”
程美丽没理会他们的难处,双手揣进白大褂的口袋里,闭上了眼睛。
意识深处,系统面板瞬间亮起。
她点开跨时代物资商城的检索栏。
【搜索指令:极紫外光刻胶配方图谱。】
金色的商品图标在面板中央缓缓浮现,带着一股不可侵犯的科技威压。
【叮!兑换确认。】
【该图谱为跨时代机密技术,将扣除宿主五万点作精值。】
程美丽的指尖在虚空中毫不犹豫地按下确认键。
【作精值已扣除,当前余额:93180点。】
【下一代极紫外光刻胶合成配方图谱,已自动生成于随身空间。】
她睁开眼,长长的睫毛在白炽灯下投下一片阴影。
程美丽偏过头,看了一眼身侧的陆川。
她嘴角微翘,指尖在金属操作台上不紧不慢地敲了两下。